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供正背面對準之量測工具(DSM200)
DSM200是一個自動化的量測系統，可應用在正背面對準作業上。已證實它的對準能力適用於2吋晶圓到200毫米的晶圓。這個系統具有圖樣辨識技術，在全自動平台上可提供0.2微米的量測準確度，3σ標準差的重複準度是0.15微米，操作員需要介入的機會極少。這個......
Suss 休斯微技術股份有限公司
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