更快、更高精度的目標不斷突破，使得測定效率更加向上提昇。因採用 了低摩擦驅動方式，而實現了驅動時低震動的要求，由於在Z 軸採 用了 驅動部重心位置配置方式（專利申請中）使得精度更加提高，這些新 技 術的開發成功，同使也使我們的產品能滿足客戶更快......

鏡筒 有限遠補正光學系 無限遠補正光學系 測量範圍(mm) 250(Ｘ軸)*150(Ｙ軸)*150(Ｚ軸) X,Y軸：(0.9+3L/1000) μmL=測量長 測長單位 低膨脹玻璃光柵尺(線膨脹係數0.02*10-6/℃) 驅動方式 ......

處理速度 以前機種的5倍以上*3 以前機種的3倍左右*3 測量範圍 300*200*200mm∼600*650*250mm 也可對 應其他的載物 台尺寸 最大測量速度 STREAM模式*1 40mm/sec*4 5mm/s*4 測......

KLA-Tencor宣佈，透過對該公司光學疊對(Overlay)量測系統的重新設計，Archer 100的準確度改善幅度超過30%以上，達1.4 TMU(總量測不確定度)，使用典型生產取樣的系統產量達每小時超過80片晶圓。光學系統經過經過重新設計以期......

DSM200是一個自動化的量測系統，可應用在正背面對準作業上。已證實它的對準能力適用於2吋晶圓到200毫米的晶圓。這個系統具有圖樣辨識技術，在全自動平台上可提供0.2微米的量測準確度，3σ標準差的重複準度是0.15微米，操作員需要介入的機會極少。這個......