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Ultra-Fast, High power analysis of Micro-Arcing
Ultra-Fast, High power analysis of Micro-Arcing
INFICON Sion™ RF Detector 採用創新的夾式設計，安裝容易且無須更 動原有的 RF 路徑，安裝後亦不會改變原來的 RF 輸出特性。特有的高 速量測系統 (20 KHz / 50us) ，可快速量測 RF 相對應電......
ACE 英福康有限公司 台灣

Portable GC/MS
Portable GC/MS
INFICON HAPSITE 是全球唯一人力可攜式氣相層析質譜儀，方便用 來偵測潔淨室內的有機污染物及其污染源，亦可非常快速(幾分鐘內)判 定工廠排出氣體，是否已被適當處理。省卻取樣所造成的時間延誤，及 避免樣品的不確定性。內建 GPS 精確......
ACE 英福康有限公司 台灣

光學疊對量測
光學疊對量測(Archer 100)
KLA-Tencor宣佈，透過對該公司光學疊對(Overlay)量測系統的重新設計，Archer 100的準確度改善幅度超過30%以上，達1.4 TMU(總量測不確定度)，使用典型生產取樣的系統產量達每小時超過80片晶圓。光學系統經過經過重新設計以期......
KLA-Tencor 美商科磊股份有限公司臺灣分公司 台灣
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