Cell, Arrey, 光罩等設備機台內部 Particle 微粒監控系統

Cell, Arrey, 光罩等設備機台內部 Particle 微粒監控系統
[賣]

Cell, Arrey, 光罩等設備機台內部 Particle 微粒監控系統
1 Particle Remote sensor 2 Channel size:
a.Model 4803, 0.3micro, 0.1cfm 牌價: 請來電(RS485 or 4-20mA)
b.Model 5813, 0.3 micro, 1.cfm 牌價: 請來電(RS485 or 4-20mA)
報價尚未含Pump(真空來源, 可由廠內之廠真空自行提供) , 可外購一般Pump

2 Particle Remote sensor 4~6 Channel size: :
a. Model S2023, 0.3micro, 4chs ; 1cfm 牌價: 請來電(RS485 or 4-20mA) 報價尚未含Pump(真空來源, 可由廠內之廠真空自行提供) , 也可外購一般Pump
b. Model S2313, 0.3micro, 6chs ; 1cfm 牌價: 請來電(RS485 or 4-20mA) 內建PUMP 與 LCD 即時data小螢幕

3. 施工安裝費用(配管, 配管材料,訊號線, 工資等), (需再依後續討論後; 方能精準)

4. 軟體: CIMScan(依系統與使用需求之版本而定)
以上需討論詳細細節後; 報價方能精準.
PS: 所測的particle 數據; 流量1CFM 會較 0.1CFM 來的精準

產品優點︰ 1.體積小
2.適合裝設在機台內部
3.可即時傳輸 data 資料. 分析
4.提供貴公司設備整合的競爭力;比其他設備商強先一步.洞燭先機^^

發布日期:

2007/5/2 下午 12:02:00

結束日期:

2008/5/1 下午 12:02:00