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AZ® Spinfil® 系列的旋塗式介電材料
AZ® Spinfil® 系列的旋塗式介電材料 (Spin-On Dielectrics) 適用於先進半導體 STI，PMD及IMD製程應用，其絕佳的孔洞填充能力克服傳統沉積技術如高密度電漿(High Density Plasma，HDP)所遭遇的瓶頸，同時優越的薄膜特性遠非其他旋塗式介電材料所能比擬。

AZ® Spinfil® Series聚硅氮烷系(Polysilazane)旋塗式介電材料特色
優越孔洞填充能力(無孔隙)
傑出表面平坦化特性
優異薄膜性質
寬廣的製程容忍度
低製程操作溫度
低設備成本優勢
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