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電漿去膠渣機
(PD-04)
. 清除盲孔、通孔內之膠渣殘膠
. 表面之活化



. 高密度電漿源
電漿效率高
可控制低的離子能量
結合化學反應性及物理撞擊性
. 高均勻性(約±10%)
. 離子能量低,不損傷基板
. 可使用多種製程氣體
. 全自動且容易操作
. 容易維護
. 可依據客戶需求作修

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