供正背面對準之量測工具<br>(DSM200) - B2B貿易平臺

供正背面對準之量測工具
(DSM200)

DSM200是一個自動化的量測系統，可應用在正背面對準作業上。已證實它的對準能力適用於2吋晶圓到200毫米的晶圓。這個系統具有圖樣辨識技術，在全自動平台上可提供0.2微米的量測準確度，3σ標準差的重複準度是0.15微米，操作員需要介入的機會極少。這個系統賦予使用者統計上的製程控制能力、品質管理能力、早期檢測以及在不可回復的製程前進行製程變更的能力。以量測彈性而言，它可以在整片晶圓上進行無限點數的量測。這個系統以Windows的GUI為操作介面，搭配PLC控制平台。對於MEMS元件、功率半導體以及光電元件而言，雙面對準與曝光是常見的製程，而DSM200便是一部可靠的量測設備。