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超高精密度 CNC 影像量測系統
((Nikon/ NEXIV VMR-H3030 Z120X))
1. 超高精密度的量測系統
2. 寬廣光源的選擇確保尺寸邊界之精準
3. 擁有超高N.A值•超長的工作距離(50mm)特性,無礙於工作有較高之
間隙
4. 15段光學變焦鏡頭提供在低倍率時的快速搜尋及高倍率時的精密量測
5. 友善的操作介面
6. 有120段的變焦系列的光學倍率能量測晶圓上之晶片尺寸型封裝層
(CSP)線路重刻部份
7. 即使是大尺寸之精密量測也能容易的藉由高精密度載物臺達成
8. 能量測蝕刻線路及印刷電路板之上下幅寬度
9. 同軸雷射對焦系統幫助量測細小的凸點高度
10. 能量出錫球凸點之截斷面形狀
11. 長行程之載物台能量測大尺寸電路板和LCD基層漸度和模組
12. 以雷射對焦系統偵測工作之高差與翹曲度
13. 以搜尋功能量測電路板的封裝區與孔洞
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