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暗場檢驗系統
(Puma 91xx)
Puma 91xx型暗場圖形晶圓的檢驗系統與去年的9000系列系統相比，提供了具有兩倍產能的關鍵線上監控應用(20晶圓/小時)，而且對較不關鍵的機台監控應用有＞30晶圓/小時的產能，同時強化資料處理能力和額外的畫素組合，這些優點包括從高敏感性到高產能。新的規則程式可以將用於建立和調整機台程式的參數數目減少接近百分之80。該機台結合該公司具有專利權的條紋多畫素感應器和線掃瞄技術來避免聲光元件和光子倍增管的速度和敏感性的限制。
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