Brooks機台整合平台－Marathon 2TM VTS

Brooks Automation一向以提供高品質、高規格之機台平台(Platform)予
機台製造廠商著稱。從眾所周知的MX Series(200mm)、GX Series
(300mm)、HX Series(Flat Panel)至最新一代M2(Marathon 2TM－如圖
所示)，皆以提供多重選擇且最高效率的解決方案為目標。Marathon 2
TM乃針對45nm以下所開發出多選項、超高潔淨度與高穩定度之機台平
台。除此之外，更新功能如Wafer re-centering、System-wide
Interlocks可提升晶片之安全，Advanced loadlocks提供更快、更乾淨
製程所需環境，Pre-heat功能可減少製程所耗之時間。此平台所選用之
Robot為業界最穩定的Brooks MagnaTran robot為主幹，並可搭配全新
一代Brooks系列周邊設備之產品，如EFEMs(Equipment Frond End
Modules)－JET TM、大氣用Robot－Razor TM、Loadport－Vision TM
LPM、平台整合軟體－FUSION。為因應下一代製程機台所需，Brooks
已做好萬全準備。