Ultra-Fast, High power analysis of Micro-Arcing

INFICON Sion™ RF Detector 採用創新的夾式設計，安裝容易且無須更
動原有的 RF 路徑，安裝後亦不會改變原來的 RF 輸出特性。特有的高
速量測系統 (20 KHz / 50us) ，可快速量測 RF 相對應電壓及電流適用
於即時偵測 CVD、ETCH 及 PVD 製程中所發生的 plasma micro-
arcing，Sion™ RF Detector 亦可透過 INFICON FabGuard®
Integration and Analysis System ，與機台及 Fab FDC 系統整合，藉
由 FabGuard 強大運算功能，將大量資料即時處理後，再將資料送給
FDC 系統做必要之處理，減少 wafer 及 yields 因 plasma micro-
arcing 所造成的損失。