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Rite Track (SVG) 88e 上光阻及去光阻系統
Rite Track 88e 系統是改良自SVG 的86及88系列的上光阻,去光阻系統
(Licensed from SVG).含有HMDS增加光組的黏著性及均勻性.特別設計
的冷熱盤,改進溫度的調節及再現性.所以88e 系列的製程要求,甚至可以超
越0.35um的製程需要. Rite Track公司同時對SVG 8X 的系列產品,提供全
面性的翻新(fully remanufactured)服務,舉凡翻新,升級,加裝SVG 86或88
系列,或零件更換,皆可滿足客戶的需要.
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