Perfrez為全氟化橡膠(Perfluoroelastomer),為台灣茂詮應用密封元件 Applied Seals所開發出來的全新橡膠材料。Perfrez可應用於高溫、強 酸、強鹼、有機溶劑、氨基化合物類、酮類、醚類、氧化劑等環境之 中,並提供較一般氟化橡膠更為優異的: l 延長密封件使用壽命 l 減低機台停機時間 l 降低製程污染風險 l 絕佳耐電漿物性 茂詮應用密封元件具備優秀的開發&製造團隊,以因應國內半導體產業 設備零組件本土化的需求,將可提供您更高的價值之客製化全方面密封 元件解決方案(Customized Total Sealing Solutions)。