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CDE ResMap 4 Point Probe / CDE ResMap四點探針
CDE ResMap的特點如簡述如下: * 高速穩定及專利自動決定範圍量測與
傳送,THROUGHPUT高 * 數位方式及每點高達4000筆資料搜集,表現良
好重覆性及再現 性 * Windows 操作介面及軟體操作簡單 * 新製程表現佳
(銅製程低電阻率1.67mΩ-cm及Implant高電阻2KΩ/□以上,皆可達成高精
確度及重覆性) * 體積小,佔無塵室面積少 * 校正簡單,且校正週期長 * 可配
合客戶需求,增強功能與適用性 * 300mm 機種可以裝2~4個量測頭,並且
可以Recipe設定更換

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