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TFT-LCD第3.5代基板
基板尺寸：
第3.5代基板(Full, 2/3, 1/3)
620mmX750mm (0.4~3.0) mm
切割精度：+/- 0.05mm

設備特色：
符合無塵室Class 1000規範
真空固定及氣浮
工作台自動清潔裝置
可整合入料及出料模組
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