化學液精確混合與傳遞系統<br>(ChemFlow CFC/CFB) - B2B貿易平臺

化學液精確混合與傳遞系統
(ChemFlow CFC/CFB)

1.U-Tube 設計: 連通管式專利之U-TUBE設計。不使用pump打入
chemical.
2.U-Tube可精確量測CHEMCIAL量，並用重力方式傳送到儲存槽。無需
再校正。
3.U-Tube方式，毫無困難的施行調整並維持校正之長期穩定性。
4.Use-of-Point: “點使用” 的方式，設計較小的儲存與攪拌槽，要用再
混化學液，化學液永遠是最新鮮的狀態。
5.氣壓式供應出去，可提供持續穩定與精確的化學液輸出。
6.氣壓式供應，解決pump式無法少量供應化學液的問題，同時也解決
pump易有particle的問題。
7.氣壓式供應化學液，亦解決真空傳遞式有氣泡污染問題。
8.N2 Humidification保持化學液濕度，避免如Slurry乾燥或易揮發化學液
揮發。
9.平均的機台佔地面積小，module化設計。
10.若數台可平行供應，無壓減問題。
11.機構簡單，維護容易。無pump，維護成本低。
12.除例行保養外，機台幾乎不會當機。
13.可搭配濃度計、PH計等，做閉迴路控制。
使用領域
CMP Slurry: Alumina、Silica、Ceria
Diamond Slurry
Etching & Cleaning Chemical: MAE, BOE, HF/ Ammonia, H2O2,
Detergent (去污劑) & Surfactants (界面活性劑)。