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Lona 過濾器
LONA 過濾器：Implant、Etcher、CVD 製程中配管內之粉體過濾。2
特徵：
1] 專利研究之過濾材質，價格便宜，效能佳。
2] 適切之硬度，不僅可捕捉合成物亦可過濾油漬物。
3] 具備pump前之真空端用及pump後之排氣端用之兩種製品。
4] 外盒（Housing）及濾心（Filter）為一組設計，但濾心亦可相容各種
尺寸之既有外盒。
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