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粉體去除機「powder Separator」
粉體去除機（powder separator）：CVD、Etcher等設備機台端至
Local Scrubber端間之粉體去除。特徵： 1] 有效清除設備端所排出之雜
物、粉末或合成物（ex.SiO2），維持Scrubber之順倡運轉。 2] 壓損起
動馬達轉動方式，使粉體自動持續清除，增加保養相隔時間。 3] 去除機
內之Tank只要每半年更換一次，裝卸簡易，成本低廉，粉體去除能力
佳。 4] 裝置位置：真空pump之後端。
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