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多功能高解析度X射線衍射儀
主要特點
1.適用於單晶外延膜﹐多晶薄膜﹐粉末材料﹐包括半導體、金屬、陶
瓷、高分子聚合物﹐醫藥等
2.高分辨XRD,三軸XRD,掠入射﹐小角X射線衍射和反射﹐織構應力分析

3.可同時配雙光源﹐其中電子束聚焦microsource源強度極高﹐可進行微
區分析
4.強大的模擬分析軟體﹐優異的操作軟體
5.PC控制光路調整調協﹐自動化程度高

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