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透射電子顯微鏡 (TEM)
FEI 所出品處於市場領先地位的 TEM 以完全整合且可用於各類應用的自
動化操作為特點﹐這些應用均要求達到了亞埃級的超高解析度。TEM 利
用了經電子束照射的極薄（0.5 μm 或者更薄）樣品。圖像的記錄方式
為﹕通過探測穿過樣品進而到達電磁透鏡系統的電子來記錄圖像﹐其中
此透鏡可聚焦並放大熒光屏､底片或數碼相機上的圖像。使用 TEM 可
獲得 1000000X 以上的放大率。
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