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掃描電子顯微鏡 (SEM)
FEI 提供了一系列 SEM 以滿足基於用戶的需求。這些系統可通過細微聚
焦電子束對樣品表面進行掃描以產生圖像﹐其原理為﹕當電子撞擊表面
時將發生折射﹐熒光屏或 TV 顯示器便會探測到這些電子﹐從而實現對
1 nm 間隔特性的偵測。
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