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PECVD
(NPE-4000/NPE-3000)
美國NANOMASTER公司PECVD(等離子增強化學氣相沉積)系統能夠沉
積高品質SiO2薄膜､Si3N4薄膜､類金剛石薄膜､硬質薄膜､光學薄膜
等。可選用射頻（RF）､空陰極高密度等離子體(HCD)源､感應耦合等
離子體（ICP）源。該公司採用先進技術和穩定可靠的設計為您提供多
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