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直立型小型光阻劑塗佈機
·適用於矽晶片，玻璃基板，金屬片，陶瓷片等元件
·塗佈範圍 1/2" - 6" (矽晶片) 或玻璃片 6" X 6"
·可單一獨立或多頭塗佈操作 (操作程序可依業者需求設計)
·可附自動塗佈及清洗系統

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