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WF6用Scrubber
WF6用Scrubber：專利之特殊噴射頭，可急速溶解鹼性液體及WF6排
氣 , 無燃燒式之高成本及濕式之配管阻塞、腐蝕等問題發生。(即不會使
WO3及HF於反應過程中生) , 安全簡單操作，運轉成本低廉。
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