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硅系列半導體使用的特殊氣體
特殊氣體分為兩類﹐一種是硅系列半導體使用的特殊氣體﹐另一種是硅
系列以外使用的特殊氣體﹐這兩種特殊氣體使用標準氣體瓶和大型氣體
罐供給。

-SiH4(硅烷)
-SiHcl3 (三氯氫硅)
-SiH2cl2 (二氯硅烷)
-SiF4 (四氟化硅)
-SiCl4 （四氯化硅）

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