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PT301D型自動探針測試台
本機為半導體專用設備，功能強大，操作簡便，工作可
靠穩定，可完成3
∼6英寸積體電路和分立器件的自動檢測。
★技術指標：
1、 工作行程：X軸200MM ，Y軸250MM，Z軸 5MM.
2、 XY定位精度<±0.005MM/150MM.
3、 XY重複定位精度<±0.003MM.
4、 XY垂直度:< 0.004MM/150MM.
5、 Z平臺重複定位精度:< ±0.003MM.
6、 Z軸解析度：0.0012MM.
7、 Z平臺平面度:<0.015MM.
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