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光掩膜基板在线检测
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型号 Xi-LineTM200 工作台 200mm x 200mm手动/自动工作台可选 聚焦 自动 探测系统 高品质工业用显微镜,CCD摄像头, 5x~200x物镜可选 照明方式 透射、反射、环形照明可选 软件系统 自带Xi-SysTM全功能图像处理软件系统 测量可重复性 100x物镜CD检测 3σ< 10nm 测量准确性 100x物镜CD检测误差 < 20nm 外观尺寸 长:1200mm 宽:1200mm 高:1500mm
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| 公司名稱 |
上海澤爾尼儀器有限公司
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| 地址
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上海市奉賢區奉城鎮上海人本工業園,中國大陸
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| 郵政編碼 |
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| 電話 |
86-021-57513966
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| 傳真 |
86-021-57513636
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| 移動電話 |
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| 電子郵箱 |

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| 網站 |
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| 聯絡人 |
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