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光掩膜基板在线检测
型号 Xi-LineTM200
工作台 200mm x 200mm手动/自动工作台可选
聚焦 自动
探测系统 高品质工业用显微镜,CCD摄像头, 5x~200x物镜可选
照明方式 透射、反射、环形照明可选
软件系统 自带Xi-SysTM全功能图像处理软件系统
测量可重复性 100x物镜CD检测 3σ< 10nm
测量准确性 100x物镜CD检测误差 < 20nm
外观尺寸 长:1200mm 宽:1200mm 高:1500mm

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