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Laser Ellipsometer-PZ2000
PZ2000為全自動薄膜量測系統，可量測基材直徑達
300mm。藉由橢圓
儀及反射儀技術，可量測樣品之厚度、折射率、消光係
數以及反射率，
可量測厚度範圍自0nm至數um
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