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濺鍍設備
(S100B)
本系統為低成本，高產能，操作與維護簡單，且具備智慧型電腦化介面
操作之快速蒸鍍設備，系統的參數控制與操作透過觸控式面板，操作相
當容易，並可依製程的需要，選用金、鈦、鉑、鋁、鎢、鉬、鎳、氧化
矽、氧化鋁、氮化鈦等不同之濺鍍材料。
本系統對各種濺鍍材料均具有高均勻性與良好附著力，實為量產及研發
製程之最佳選用機型。
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