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晶圓盒清洗機台
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詳細說明：
1. 用超音波清潔的精密噴嘴.
2. 自動開關FOUP.
3. 操作可提供線上與離線的雙模式.
4. 高速旋轉FOUP door來加速度烘乾速度.
5. 透過ejector做真空.
用途：
Hugle UPC-12100是採用D.I water超音波震盪噴嘴的自動的300mm
FOUP清洗系統與支援0HT / RGV的自動運輸系統SECS II protocol。 這
是富有豐富經歷和技術的Hugle electronic清洗系統裏的新開發。
規格：
Main unit
-Surface finish: SUS304#400
-Size: 2200(W) 2800(H) 2800(D) mm
-Weight: 3500kg or less
-Power: 3 208V 25kVA
Tank unit
-Size: 460(W) 1200(H) 1000(D) mm
-Weight: 120kg or less
-Power: 3 208V 5kVA
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| 公司名稱 |
崇越科技股份有限公司
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| 地址
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大安區信義路四段236號10樓,台灣
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| 郵政編碼 |
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| 電話 |
886-2-27051188
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| 傳真 |
886-2-27086288
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| 移動電話 |
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| 電子郵箱 |
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| 網站 |
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| 聯絡人 |
Tony /
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