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gas systems
The gas systems are available for all commonly used atmospheric
and sub-atmospheric process applications utilizing
diffusion/pyrogenic and LPCVD processes.

All gaslines are:

equipped with VCR couplings, orbital welded and helium leak tested

electropolished stainless steel 316L

utilized with bellow sealed pneumatic valves

Process control by Digital Process Controller (DPC)

Mass flow controllers with Softstart (programmable softstart)

In line filters with 0,003 μm retention

Screens, one per stack, with LEDs mounted on the front of the Gas
Cabinet to check the used valves.

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地址 Brugstraat 2, 8181 VH Heerde,Netherlands
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