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電漿塗布機
(Sumitomo ITO)
日本住友重工以電漿鍍膜技術發展出ITO
鍍膜系統.相較于傳統鍍膜方式, SHI ITO
電漿鍍膜系統的特點有:

.高品質的ITO 膜
.適用于低溫制程
.適用於大型 Panel, 產能高
.UP-Time 長
.低操作費用
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