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自動化光學膜厚儀
產品特點︰
1. 可自動連續檢測樣品膜厚。
2. 檢測時間︰3 秒。
3. 膜厚檢測範圍︰100 A 至 500,000 A。
4. 光學解晰度︰3 nm
5. 精確度︰0.1nm
6. 最高可同時檢測四層膜厚。
7. 可量測穿透及反射光譜，並可分析CIE色度。

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