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腐蚀性液体取样器粒子监测仪
(CLS-1000)
CLS-1000粒子监测仪是由一个可检测温度最高达90摄氏度化学样
品的压缩取样器和Liquistat 粒子监测仪结合而成。内置的重要安全装置
例如检漏探测器和净化空气装置使它成为使用危险化学品的湿式工作台
的最理想选择。多功能的设计使得的设备可安装在小车上，在各个制程
间检测。压缩取样器可消除较活跃或热的化学样品中的气泡。CLS-
1000完全符合最新的化学品制程中微粒检测规范SEMI C1。

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