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离子迁移谱痕量气体监测分析系统
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实时监测气体悬浮沾染已成为半导体加工中不可或缺的一部分。 工 业要求包括快速检测和警报、极低浓度级监测、大范围取样以及对许多 不同气体的灵敏度。 DUV 平版印刷工人对监测氨水、胺以及 N-甲基吡 咯烷酮 (NMP) 特别关注。 已发现这些化合物与化学增强光致抗蚀剂反 应时会产生问题。
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| 公司名稱 |
PARTICLE MEASURING SYSTEMS INC
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| 地址
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5475 Airport Blvd,Boulder,CO,VIRGINIS.(US)
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| 郵政編碼 |
80301
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| 電話 |
303-4437100
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| 傳真 |
303-5467331
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| 移動電話 |
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| 電子郵箱 |

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| 網站 |
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| 聯絡人 |
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