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半導體特性系統
要特性與優點:

• 隨點即用的視窗操作環境
• 特殊的訊號放大器可使SMU解析度達至0.1fA
• 內建的PC系統提供快速的測試設定,強大的資料分析及繪圖,列
印功能及龐大的硬碟儲存空間
• 特殊的瀏覽式專案導覽器將測試依元件分類,並允許多項測試
及提供測試流程及迴圈控制
• 可整合 Keithley 590 和 Agilent 4284CV儀器及 Keithley 切換
開關系統及 Agilent 81110脈衝產生器
• 由KITE(Keithley Interactive Test Environment)控制硬體操作
• 自訂測試模組功能可以延伸KITE控制其它外部儀器及整合測試
項目
• 包含Cascade Microtech Summit 12000系列,Karl Suss
Model PA-200,Micromanipulator Model 8860及手動探針台軟體驅動
程式


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