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掃描電子顯微鏡
FEI 提供了一系列 SEM 以滿足基於客戶的需求。這些系統可通過細微
聚焦電子束對樣品表面進行掃描以生成圖像,其原理為:當電子撞擊表
面時將發生折射,螢光屏或 TV 監視器便會探測到這些電子,從而實現
對 1 nm 間隔特性的檢測。

兩種 FEI 產品系列提供的 SEM 系統:

Nova 系列
Nova 系列的 SEM 由三種高質量納米級研究工具所組成,其中包括
Nova NanoSEM 200 [ PDF 168KB]、Nova NanoSEM 400 [ PDF
168KB] 以及 Nova NanoSEM 600 [ PDF 168KB]。它們不僅都具備
ESEM 功能,而且還是科研實驗室、半導體和資料存儲研發和生產、生
物及生命科學實驗室和其他行業中各類成像、分析和樣品製備所需的必
備之選。

Quanta 系列
Quanta 系列工具(其中包括帶場發射槍 (FEG/SEM) 功能的三種模型)
是多用途、高性能的掃描電子顯微鏡 (SEM),其配備的三種模式(高真
空、低真空及 ESEM)可應對所有 SEM 系統的最大樣品範圍。
Quanta 200、400、600 及其具有 FEG 功能的模組,是適用於工業流
程式控制制實驗室、材料科學實驗室和生命科學實驗室的理想 SEM。

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