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Wafer and Mask Cleaners for Advanced Packaging
The EVG301 employs one cleaning station, which cleans wafers and
masks using standard DI-water cleaning, megasonic or brush
cleaning procedure. With manual loading and pre-alignment, the
EVG301 is a versatile R&D type system for flexible cleaning
procedures and 300 mm capability.
The EVG301 system can be combined with EVG's wafer alignment
and bonding systems to eliminate any particle prior to wafer bonding.

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公司名稱 EVG-JOINTECH CORP
地址 10F-7, No. 400, Hwang-Pei Rd.,台灣
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電話 886-3-2805680
傳真 886-3-2805689
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