抛光,干式蚀刻机(DGP8760) - DISCO CORPORATION 製造廠, 製造商,供應商, 產品, 製造

抛光,干式蚀刻机
(DGP8760)

8000系列全自动研削/抛光机，可以在同一个工作盘上进行从背面研削
到干式抛光的一系列加工，能进一步提高超薄加工的稳定性。另外，由
于采用了3根主轴、4个工作盘的结构和最佳的搬运部布局，并将真空装
置安装于设备内部等一系列的措施，使该机型的外形尺寸更加简洁、紧
凑。另外，还可与晶片贴膜机/揭膜机组成联机系统，所以能适用于
DBG (Dicing Before Grinding-先切割加工) 系统的建立以及DAF（Die
Attach Film)的应用技术。