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非接觸式面 Mobility 量測儀器
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.非接觸式面 Mobility 量測儀器
2. 非接觸性量測, 可以量得以下資料:
> Carrier Mobility
>Carrier Density
>面電阻
3. 適用Wafer 包括: GaAs, GaN, SiGe, InP, Si, etc.
4. 可以排除 DC Hall 之費時耗資得測試, 如:
> 無須裁切 wafer 去特別製作測試樣本
> 無須做連接導線
5. 量測樣本尺寸: 最小需大於 40mm2, 最大可以量測 6" wafer.
6. 可在試溫下量測產線的Wafer
7. 對於難以檢測的GaN Wafers 可以得到可重現的量測資料
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| 公司名稱 |
佳霖科技股份有限公司 Challentech
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| 地址
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八德路9巷1號,台灣
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| 郵政編碼 |
300
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| 電話 |
886-3-5614211#362
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| 傳真 |
886-3-5614210
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| 移動電話 |
886933804690
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| 電子郵箱 |
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| 網站 |
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| 聯絡人 |
曹桂芬 / 協理
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