1 .應用Gas Foil Rotation技術之有機金屬化學氣相磊晶反應器 2. 晶片容量: 1x2" 3. 供電需求: a) 3/PE/60 Hz or 50 Hz 480 V or 400 V +- 5% 24 kVA (RF- Generator) b)3/N/PE/60Hz or 50 Hz 208 V or 400 V +- 5% 20 kVA (Electronics) 4. 水冷系統:Total flow 15 l/min at T inlet < 25°C P inlet < 6 bar, Differential Pressure > 4 bar 5.用於氮化物應用的高溫反應器
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