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FPA-6000ES5
Wafer size: 300mm; 200mm
Resolution:< =0.11μm
Numerical Aperture (NA): 0.55 ~ 0.80
Reticle size: 6in. (0.25in. thick)
Reduction ratio: 4:1
Field size: 26mm x 33mm
Overlay accuracy: < =18nm (M+3)
Throughput: > =140wph (300mm) > =170wph (200mm)

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